【大紀元4月9日報導】(中央社9日電)晶圓代工廠台積電節水做法徹底,連量測水質的用水也回收再利用,正是「連1滴水都不放過」的精神,讓台積電節水效率居全球業界之冠。
台灣正面臨嚴重乾旱危機,石門水庫供水區啟動三階限水,採供水5天停水2天措施;台積電中科晶圓15廠首度開放媒體參觀節水與水處理設備,推廣及分享節水方法。
台積電12吋晶圓廠廠務處副處長陳鏘澤表示,台積電用水策略及管理目標是致力回收水技術開發及應用,以達成最大回收再利用的成效,創造每單位用水最大產值,成為半導體業高節水效率的生產工廠。
台積電用水策略及管理方法及重點有建立有效用水管理指標,內部定期跨廠區管控,並強化有效分流源頭管理對策,同時積極推展回收水再利用的涵蓋率。
陳鏘澤指出,台積電針對不同機台特性,依廢水等級回收分流處理再利用,中科晶圓15廠即設置有多達25類排水管路。
陳鏘澤說,內部連量測水質的用水也回收再利用,雖然回收水量不多,不過,充分展現台積電在節水上「連1滴水也不放過」的精神。
台積電1滴水用了3.5次,全公司平均製程回收率達87.5%,陳鏘澤表示,今年目標將提升至1滴水用4次;台積電1天產生24萬噸回收水,1年產生多達8760萬噸回收水。
台積電生產每平方公分晶圓用水量約5.66公升,節水效率為美國廠商的3倍,為日本廠商的2倍,是韓國廠商的1.5倍左右,晶圓單位面積用水量也低於台灣業界的5.74公升水準。
台積電12吋廠廠務資深處長莊子壽透露,台積電1年環保節水設備上支出約新台幣8億元。台積電一方面積極節水,另台積電也與水車業者簽約,以備不時之需。