量测
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台大跨国团队研究 突破半导体封装界光学量测瓶颈 2023/04/26台大机械系教授陈亮嘉26日表示，跨国团队运用深紫外宽频光源作为光学侦测，藉由机器学习演算，针对多项关键尺寸量测突破技术瓶颈，开口尺寸可达...
