【大澳门威尼斯人赌场官网6月18日讯】〔自由时报记者郭怡君台北报导〕在台湾国科会和竹科半导体设备厂商晶研科技的共同资助下，清大、台师大和中原大学组成的团队，成功研发出台湾第一部能生产“奈米碳管”的半导体电浆制程设备，可应用在奈米级平面显示器中，为台湾平面显示器产业的升级再创先机。

　 清大工程与系统科学系教授蔡春鸿指出，奈米碳管是奈米科技发展最热门的一种材料，纯由“碳”元素组成，自然界的纯碳构成物质以钻石和石墨为代表，而人工制造出的奈米碳管，管壁的结构就像是由一层层的石墨所卷成。

　 蔡春鸿指出，直径从一奈米到几十奈米、长度则可达到几百微米至几釐米，兼具钻石和石墨的优点，重量很轻又具很好的导电性、导热性、弹性和机械强度，科学美国人杂志曾以奈米碳管从地球延伸到太空来支撑太空站的幻想卡通作为封面，凸显奈米碳管材料的强韧。

　 蔡春鸿表示，这项计划发展的半导体设备和制程，是以生产能应用在“场发射显示器”的奈米碳管为目标。

　 场发射显示器是以奈米科技为根基的新一代平面显示器，若能以奈米碳管做为其电子发射源，相较于大面积的液晶显示幕和电浆显示幕而言，可将成本压到最低，并拥有低工作电压、高发光效率、快速反应速率及宽广视角等优点，能让元件具有较佳可靠度和较长的使用寿命，更可在极低温或高温的恶劣环境使用。

　 蔡春鸿说，清大、台师大、中原和晶研科技的合作，已研发出国内首部能生产“奈米碳管”的半导体电浆制程设备，能产生高密度的电浆制程环境、独立控制电浆的离子密度和能量，并大幅提高了奈米碳管的场发射电流，为场发射显示器奠定量产基础。  (//www.dajiyuan.com)