【大澳门威尼斯人赌场官网2021年12月27日讯】（大澳门威尼斯人赌场官网记者侯骏霖台湾台北报导）晶圆代工龙头台积电在5奈米制程方面，全采极紫外光（EUV）微影设备，领先全球半导体业，英特尔（Intel）则还未进入EUV量产的阶段。台积电前研发副总、清大半导体研究学院院长林本坚27日透露，英特尔在2002年曾号召企业组成EUV研发联盟，台积电无法加入，因此改采浸润式（Immersion）微影技术，反而超越英特尔。

清大半导体研究学院27日揭牌，由台积电前研发副总林本坚担任院长，林本坚专精微影技术，他接受媒体采访时表示，英特尔与超微（AMD）、IBM等企业，在2002年就成立了EUV LLC联盟，期许共同研发极紫外光（EUV）相关设备，导入60、40奈米制程使用。

林本坚指出，联盟当时有6家厂商，台积电无法加入，只能改采浸润式微影技术，直到5奈米制程才采用EUV技术；EUV LLC联盟中，除了除英特尔外，其他成员最后都没有再持续下去。

林本坚说，半导体应用愈加广泛，如何压低成本达到最好的效果才是真正的挑战，不一定都从EUV技术着手，因为成本较高，可能会划不来。他说，若有其他方式能降低成本，就可以用别的办法，但这不是说半导体不需要微影技术。

至于台积电可能吸走学院培养人才，林本坚表示，清大半导体研究学院与台积电、联电、力积电及美光等11家企业合作；他认为，学院提供学生与各家厂商接触的机会，学生也有望和教授合作，各家厂商应该要自己努力，才能吸引需要的人才。

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