【大澳门威尼斯人赌场官网2020年12月01日讯】（大澳门威尼斯人赌场官网记者张原彰台湾台北报导）韩国三星的半导体先进制程的推进状况，仍落后于台积电，但仍积极寻求在3奈米制程追上。据韩国媒体报导，荷兰半导体设备制造商艾司摩尔（ASML）近日拜访三星半导体工厂，双方洽谈EUV设备的采购，与开发新一代机台的合作计划。报导也称，三星如果可以抢先台积电先取得下一代EUV机台，会是他们取得技术领先的关键。

台湾晶圆代工龙头台积电掌握先进制程，5奈米制程进入量产，并持续推进3奈米制程，预计2023年量产。韩国三星希望在3奈米制程追上台积电，也预计在2023进入量产阶段。

半导体先进制程之所以能推进，荷兰半导体设备制造商艾司摩尔（ASML）所打造的极紫外光曝光机（EUV）功不可没。台积电目前已有35台EUV，如今为加速推动3奈米，外传明年采购总量超过50台，几乎掌握全球一半的EUV机台。

据了解，目前三星EUV设备采购量不到20台，而三星正积极补足EUV设备。据韩国媒体《Business Korea》在1日的报导，有业内人士透露，三星电子已要求ASML提供更多EUV设备。

报导指出，ASML总裁兼执行长Peter Wennink等ASML高阶主管在上周参访三星的半导体工厂，并与三星半导体事业部主席金基南（Kim Ki-nam）会面。据了解，针对开发下1代EUV设备，两公司讨论合作事项。

报导引述三星高管的消息，两公司在会上并没有做出具体的投资决定。ASML高管之所以访问三星电子，是为了回应三星副董事长李在镕，在10月时访问ASML总部。

不过，报导也指出，ASML是全球唯一能制造EUV设备的制造商，目前他们供应台湾台积电的EUV设备量，比供应三星的还多。而三星为了加快先进制程，需要更多EUV设备，这有助于他们扩大全球晶圆代工市场的市占率。

报导并称，三星电子希望与ASML建立技术联盟，以确保三星能扩大下1代EUV设备的供应；而ASML方面，则因为开发新一代的EUV设备，因此需要大量资金投资，而这可能是双方合作的契机。

报导指出，三星也希望能投资新一代的EUV设备的开发，抢在台积电之前，先从ASML获得该设备，以取得技术领先地位。

据规划，ASML在2023年中期，推出新一代的High-NA EUV设备原型，预计每台5000亿韩圜（约新台币139亿元），价格是当前EUV设备价格的2到3倍。

据ASML财报，2019年时，ASML的EUV微影系统出货量达 26 台，较 2018 年增加8台，使得去年的营收达118亿欧元，年增率 8%；其中来自台湾的营收达 53 亿欧元，占比 45.3%，远高于韩国的 18.6%、美国的 16.7% 及中国的 11.6%。

责任编辑：吕美琪