【大澳门威尼斯人赌场官网8月5日报导】(中央社记者张建中新竹5日电)晶圆代工厂台积电今天宣布，加入半导体设备厂艾司摩尔(ASML)客户联合投资专案，盼加速极紫外光(EUV)微影技术与18吋晶圆微影设备开发及量产。

为让关键微影技术发展顺利，且加速进行，荷兰半导体设备厂ASML于7月9日宣布展开客户联合投资专案，邀请英特尔(Intel)、台积电及三星(Samsung)3大厂参加。

英特尔率先决定参与ASML客户联合投资专案，台积电董事长暨总执行长张忠谋于7月法人说明会后记者会时曾表示，台积电并没有感到压力，不会被迫投资ASML。

台积电当时仍在审慎评估中，张忠谋说，台积电若决定投资ASML，将主要是基于希望加速EUV发展考量。

经过近1个月评估，台积电今天宣布，加入ASML客户联合投资专案；根据协议，台积电将投资ASML达8.38亿欧元，取得ASML约5%股权，未来5年并将投入2.76亿欧元，支持ASML的研发计划。

台积电执行副总经理暨共同营运长蒋尚义表示，如何有效控制日益攀升的晶圆制造成本，是缩小积体电路尺寸面临的最大挑战之一。

蒋尚义说，台积电挹注ASML研发经费，将确保并加快EUV微影技术开发，同时提高既有光学微影工具效能，促进18吋晶圆制造技术的快速发展，将有助半导体业控制晶圆成本。