【大紀元3月1日報導】（中央社記者韋樞台北一日電）行政院國科會與均豪精密、群錄公司等共同補助成功大學製造所研發成功「智慧型預測保養」、「虛擬量測」技術，這兩項技術已獲得5個專利，由於精準度非常高，目前已經技轉給台積電和奇美電子，大幅嘉惠半導體和面板顯示器產業。

半導體與面板顯示器產業是政府「兩兆雙星」中重點產業，兩大產業投資規模龐大，亦執全球牛耳。向來以製程科技領先的台灣來說，若能在生產過程中降低生產設備異常和產品不良率的停工、產能和資本浪費，台灣的競爭力會更強。

研發團隊成大製造工程研究所教授鄭芳田表示，智慧型預測保養系統主要是提早通知可能發生錯誤或機械異常，包含數個通用型嵌入式裝置與遠端主機，此通用型嵌入式裝置可以嵌入於不同種類的設備中，先擷取設備基本的工程資料，再透過嵌入式裝置內的應用介面，用以發展應用模組。

他舉例，TFT-LCD（薄膜液晶顯示器）的玻璃基板在輸送過程中，若相鄰兩個輸送模組間的馬達轉速差異超過容許限度時，會刮傷玻璃基板而不得不報廢；若輸送設備中偵測玻璃基板位置的感測器故障，也會導致玻璃基板相撞或衝出輸送設備而破碎。

這時若有一套預測保養系統和具有動態載入功能的預測保養模組，偵測玻璃基板輸送設備的馬達轉速差異、感測器故障、與載具轉換器的定位高度差異等問題，當發現異常時能發出警訊給遠端主機，並在玻璃基板損壞前，緊急停機處理，大幅降低損壞率。

至於虛擬量測是指在產品尚未或無法進行實際量測情況下，利用生產機台參數，推估所生產的產品品質，並監控機台效能。

目前半導體廠的做法是每隔一段時間，插入一片監控用的測試晶圓 (每個月消耗新台幣一億元 )，進行週期性品質量測。但週期性監控仍無法即時偵測每片晶圓的品質，以致無法即時發現機台效能漂移等問題，因此仍可能導致產品品質不良，造成極高成本損失，尤其晶圓愈來愈大，損失會更多。

鄭芳田指出，預測保養系統已經成功安裝在均豪公司的TFT-LCD五代玻璃輸送裝置及載具轉換器上；虛擬量測技術則技轉給奇美電子和台積電，取代部分實際量測、實現逐片檢測 (Wafer-to- Wafer)模式的先進製程Run-to-Run控制、及減少 (或免除)監控片的消耗量。