site logo: www.tvsmo.com

預測保養虛擬量測專利 嘉惠半導體與面板產業

人氣: 4
【字號】    
   標籤: tags:

【大紀元3月1日報導】(中央社記者韋樞台北一日電)行政院國科會與均豪精密、群錄公司等共同補助成功大學製造所研發成功「智慧型預測保養」、「虛擬量測」技術,這兩項技術已獲得5個專利,由於精準度非常高,目前已經技轉給台積電和奇美電子,大幅嘉惠半導體和面板顯示器產業。

半導體與面板顯示器產業是政府「兩兆雙星」中重點產業,兩大產業投資規模龐大,亦執全球牛耳。向來以製程科技領先的台灣來說,若能在生產過程中降低生產設備異常和產品不良率的停工、產能和資本浪費,台灣的競爭力會更強。

研發團隊成大製造工程研究所教授鄭芳田表示,智慧型預測保養系統主要是提早通知可能發生錯誤或機械異常,包含數個通用型嵌入式裝置與遠端主機,此通用型嵌入式裝置可以嵌入於不同種類的設備中,先擷取設備基本的工程資料,再透過嵌入式裝置內的應用介面,用以發展應用模組。

他舉例,TFT-LCD(薄膜液晶顯示器)的玻璃基板在輸送過程中,若相鄰兩個輸送模組間的馬達轉速差異超過容許限度時,會刮傷玻璃基板而不得不報廢;若輸送設備中偵測玻璃基板位置的感測器故障,也會導致玻璃基板相撞或衝出輸送設備而破碎。

這時若有一套預測保養系統和具有動態載入功能的預測保養模組,偵測玻璃基板輸送設備的馬達轉速差異、感測器故障、與載具轉換器的定位高度差異等問題,當發現異常時能發出警訊給遠端主機,並在玻璃基板損壞前,緊急停機處理,大幅降低損壞率。

至於虛擬量測是指在產品尚未或無法進行實際量測情況下,利用生產機台參數,推估所生產的產品品質,並監控機台效能。

目前半導體廠的做法是每隔一段時間,插入一片監控用的測試晶圓 (每個月消耗新台幣一億元 ),進行週期性品質量測。但週期性監控仍無法即時偵測每片晶圓的品質,以致無法即時發現機台效能漂移等問題,因此仍可能導致產品品質不良,造成極高成本損失,尤其晶圓愈來愈大,損失會更多。

鄭芳田指出,預測保養系統已經成功安裝在均豪公司的TFT-LCD五代玻璃輸送裝置及載具轉換器上;虛擬量測技術則技轉給奇美電子和台積電,取代部分實際量測、實現逐片檢測 (Wafer-to- Wafer)模式的先進製程Run-to-Run控制、及減少 (或免除)監控片的消耗量。

評論